半導體潔凈車間差壓控制原理

潔凈車間壓差控制的基本原理是控制送風量、回風量和排風量。

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當送入無塵室內的空氣量適當的大于回風和排風量時,室內則可維持一定的正壓值。此時,在潔凈車間內外靜壓差的作用下,通過圍護結構不嚴密處向外滲漏的風量與機械進出風量的差額相等。

潔凈車間壓差維持的難題在于機械送風量與出風量是動態變化的。對于潔凈空調系統來說,過濾器積塵會造成新風、送風管路阻力增加,從而影響風量;排風設備的時開時停也會導致排風量的變化;此外,與樓道、室外相鄰還會因熱壓、風壓的變化影響房間的壓差。

因此潔凈車間的壓差值需要經常進行檢查,并依次對新、送、回、排風通路的閥門作出相應的調整。而博益公司的差壓計壓力傳感器可以很好的監控潔凈車間的風量動態變化,差壓計和壓力傳感器具有響應速度快、精度高、耐腐蝕、使用壽命高等特點。

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